Feedback

Faculté des Sciences appliquées
Faculté des Sciences appliquées
Mémoire
VIEW 85 | DOWNLOAD 161

Photonic properties of periodic arrays of nanometer-wide metal lines

Télécharger
Elias, Quentin ULiège
Promoteur(s) : Vanderheyden, Benoît ULiège
Date de soutenance : 7-sep-2020/9-sep-2020 • URL permanente : http://hdl.handle.net/2268.2/10788
Détails
Titre : Photonic properties of periodic arrays of nanometer-wide metal lines
Titre traduit : [fr] Propriétés photoniques de résaux périodiques constitués de fils métalliques nanométriques
Auteur : Elias, Quentin ULiège
Date de soutenance  : 7-sep-2020/9-sep-2020
Promoteur(s) : Vanderheyden, Benoît ULiège
Membre(s) du jury : Bogdanowicz, Janusz 
Nguyen, Ngoc Duy ULiège
Redouté, Jean-Michel ULiège
Langue : Anglais
Nombre de pages : 166
Mots-clés : [en] reflectance
[en] transmittance
[en] array
[en] periodic
[en] metal
[en] copper
[en] interconnect
[en] metrology
[en] geometry
[en] pitch
[en] width
[en] height
[en] perfect electric conductor
[en] pec
[en] band structure
[en] waveguide
[en] diffraction
[en] grating
[en] plasmonic
[en] surface
[en] plasmon
[en] polariton
[en] semiconductor
[en] oxide
[en] scatterometry
[en] raman
[en] moore
[en] ruthenium
[en] platinum
[en] thin-film
[en] extraordinay
[en] optical
[en] transmission
[en] cutoff
[en] mode
[en] dispersion
[en] relation
[en] propagation
[en] evanescent
[en] nanometer
[en] photonic
Discipline(s) : Physique, chimie, mathématiques & sciences de la terre > Physique
Centre(s) de recherche : IMEC
Public cible : Chercheurs
Professionnels du domaine
Etudiants
Institution(s) : Université de Liège, Liège, Belgique
Diplôme : Master en ingénieur civil physicien, à finalité approfondie
Faculté : Mémoires de la Faculté des Sciences appliquées

Résumé

[en] In this master thesis, the interaction of light with periodic arrays of nanometer-wide metal lines arestudied. To do so, extensive use of wave optics, waveguide and diffraction grating theories is made to better understand the interaction of light with a structure made of perfect electrical conductor (PEC) lines, both for TE and TM polarizations. In particular, we propose to gather the results of those theories in an original band structure to understand how light can couple into the array as a function of the geometrical parameters. The structure is viewed as periodic metallic waveguides simultaneously constituting a diffraction grating. The model is used to analyze quantitative numerical finite element calculations of reflectance and transmittance spectra (obtained using COMSOL Multiphysics). First, a grating of PEC lines is studied. Then an array of copper lines is analyzed and compared to the PEC lines.


Fichier(s)

Document(s)

File
Access ELIAS_Quentin_Master_Thesis.pdf
Description: -
Taille: 118.88 MB
Format: Adobe PDF

Annexe(s)

File
Access ELIAS_Quentin_Master_Thesis_Key_Figures.zip
Description: -
Taille: 3.14 MB
Format: Unknown
File
Access ELIAS_Quentin_Master_Thesis_Abstract.pdf
Description: -
Taille: 86.32 kB
Format: Adobe PDF

Auteur

  • Elias, Quentin ULiège Université de Liège > Master ingé. civ. phys., à fin.

Promoteur(s)

Membre(s) du jury

  • Bogdanowicz, Janusz
  • Nguyen, Ngoc Duy ULiège Université de Liège - ULiège > Département de physique > Physique des solides, interfaces et nanostructures
    ORBi Voir ses publications sur ORBi
  • Redouté, Jean-Michel ULiège Université de Liège - ULiège > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Systèmes microélectroniques intégrés
    ORBi Voir ses publications sur ORBi
  • Nombre total de vues 85
  • Nombre total de téléchargements 161










Tous les documents disponibles sur MatheO sont protégés par le droit d'auteur et soumis aux règles habituelles de bon usage.
L'Université de Liège ne garantit pas la qualité scientifique de ces travaux d'étudiants ni l'exactitude de l'ensemble des informations qu'ils contiennent.