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Master thesis and internship[BR]- Master's thesis : Investigation of TiN micro-heaters microfabrication pathways[BR]- Internship
Batlle Mari, Lucas 
Promoteur(s) :
Fleury-Frenette, Karl
Date de soutenance : 24-jui-2024/25-jui-2024 • URL permanente : http://hdl.handle.net/2268.2/20419
TFE-Final.pdfDétails
| Titre : | Master thesis and internship[BR]- Master's thesis : Investigation of TiN micro-heaters microfabrication pathways[BR]- Internship |
| Titre traduit : | [fr] Investigation du nitrure de titane déposé par laser pour la réalisation de micro-éléments chauffants |
| Auteur : | Batlle Mari, Lucas
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| Date de soutenance : | 24-jui-2024/25-jui-2024 |
| Promoteur(s) : | Fleury-Frenette, Karl
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| Membre(s) du jury : | Ziemons, Eric
Gailly, Patrick
Lahmaïd, Ismaël
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| Langue : | Anglais |
| Nombre de pages : | 93 |
| Mots-clés : | [en] Microheaters [en] Titanium nitride [en] TiN [en] Sputtering [en] Ion Beam Sputtering [en] IBS [en] Laser-Induced Forward Transfer [en] LIFT Thin films |
| Discipline(s) : | Ingénierie, informatique & technologie > Ingénierie aérospatiale |
| Public cible : | Chercheurs Professionnels du domaine Etudiants |
| Institution(s) : | Université de Liège, Liège, Belgique |
| Diplôme : | Master en ingénieur civil en aérospatiale, à finalité spécialisée en "aerospace engineering" |
| Faculté : | Mémoires de la Faculté des Sciences appliquées |
Résumé
[en] This work is an investigation of preliminary steps in the microfabrication of titanium nitride microheaters to be integrated under the surface of flight mirrors. This work focuses on the analysis of titanium thin films properties as a function of thickness.
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L'Université de Liège ne garantit pas la qualité scientifique de ces travaux d'étudiants ni l'exactitude de l'ensemble des informations qu'ils contiennent.
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